无锡派瑞林涂层设备及用途介绍

派瑞林parylene真空气相沉积设备又名派瑞林镀膜机、哌拉伦镀膜机，是用于电路板pcba、线圈马达、硅橡胶制品、磁性材料、led/oled、传感器、微电子产品、电池、医疗产品、书籍画卷等产品镀膜的**设备，与传统的三防喷涂设备不同，它采用了一种*特的化学气相沉积工艺（cvd），沉积过程主要有以下三个步骤：
1. 真空环境，温度130℃条件下，固态派瑞林材料升华成气态。
2. 真空环境，温度680℃条件下，将气态双分子裂解成为活性单体。
3. 真空环境，常温下，气态单体在基体上生长聚合，形成致密的防护膜。

派瑞林:通常称为Parylene,六十年代中期美国Union Carbide Co. 开发应用的一种新型环保涂层材料，它是一种聚合物，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、F、HT型等多种类型。派瑞林材料以其特物理性能、电性能及生物相容性，被广泛的应用在设计及制造、与航空航天、生物、MEMS与纳米技术、保护等领域，为越来越化产品提供较理想的防护。
Parylene N粉是各类Parylene中具有较强的渗透能力，能够有效地在各种细缝或盲孔表面形成薄膜。它的介电常数较低(2.65)及耗散因子小，且随外界频率的增加变化不大；同时具有较理想的润滑效果，主要用于橡胶、光学领域；Parylene C粉具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率，沉积生长速率也比N型快得多，相应的渗透能力也差于N型；是目前应用更广，防护效果更好的Parylene材料；
Parylene D粉在更高温度下具有相对更好的物理及电性能，同时与N、C型相比，具有更好的热稳定性；
ParyleneF是苯环上的4个H原子被F取代,ParyleneF拥有ParyleneHT的耐紫外线，耐高温等优势，派瑞林HT由于其生产工艺的限制，制备效率很低，而ParyleneF则相对来说更具有商业价值；