派瑞林F粉-八氟[2.2]对环芳烷
英文名称:Dimer,Parylene F
外观 白色片状晶体
沸点 321℃
用途:F粉是派瑞林材料的单体,是重要的光电材料光电材料。
瑞林F粉就是派瑞林系列的一种,主要制作真空涂覆材料使用,优异的耐高温和耐紫外线效果。
Parylene N,聚对二甲苯。将二甲基中的一个氢原子用一个氯原子所取代,就得到Parylene C;将其中两个芳香烃氢原子被氯原子取代,就得到Parylene D;苯环上的4个氢原子被氟取代,即可得Parylene F;而将二甲基上的H原子替换为F原子,就得到HT型Parylene。
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Parylene F的成膜原理
与其它Parylene原料类似,Parylene F薄膜的制备需在的真空涂覆设备上进行,设备主要由升华炉、裂解炉、沉积腔室、冷阱和真空系统几部分组成。成膜过程也包括如下3个步骤:
(1)固体环二体在一定温度下升华为气态环二体;
(2)在较高温度下气态环二体裂解为活性单体自由基;
(3)单体自由基进入沉积腔室后,在基体表面沉积聚合形成均匀无针孔并与物体形状一致的Parylene F薄